真空探針熱臺(tái)能方便、準(zhǔn)確、快速地找到放置在安裝臺(tái)上的樣品上所需要測(cè)試點(diǎn)，比如三極管的基區(qū)、發(fā)射區(qū)等，將探針臺(tái)上的探針和測(cè)試點(diǎn)可靠接觸，將配套測(cè)試儀器上設(shè)置的測(cè)試條件通過(guò)探針加到被測(cè)試管芯上，實(shí)現(xiàn)對(duì)管芯參數(shù)測(cè)試的目的。在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)和研制過(guò)程中，需要對(duì)芯片樣品的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行過(guò)程測(cè)試和終端測(cè)試，完成測(cè)試所需的測(cè)試對(duì)準(zhǔn)設(shè)備是探針臺(tái)。
真空探針熱臺(tái)探針臺(tái)希望在上片后無(wú)需人工對(duì)準(zhǔn)，就能從晶圓的一個(gè)晶粒(一點(diǎn))開(kāi)始檢測(cè)，晶圓上片后，探針下方的開(kāi)始位置往往并不是一點(diǎn)；為了讓一點(diǎn)快速的移至探針下方，對(duì)平臺(tái)的運(yùn)行軌跡進(jìn)行了調(diào)整，螺旋定位法可以以平臺(tái)上開(kāi)始位置為中心。
螺旋式步進(jìn)運(yùn)行，配合鏡頭的圖像識(shí)別技術(shù)，一步一識(shí)別，逐步擴(kuò)大范圍，直至在鏡頭視野中找到晶圓中的特殊晶粒(特殊點(diǎn))；由于一點(diǎn)與特殊點(diǎn)的位置相對(duì)固定，所以找到了特殊點(diǎn)即找到了一點(diǎn)。螺旋定位法能快速移至探針正下方且長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行穩(wěn)定；此自動(dòng)定位方法不僅節(jié)省了人力成本，提高了定位精度，又大大地提升了探針臺(tái)的工作效率。
在現(xiàn)有技術(shù)中，真空探針熱臺(tái)中的安裝臺(tái)與探針兩者是相對(duì)固定的，在樣品參數(shù)測(cè)試時(shí)，通過(guò)調(diào)節(jié)探針座的位置，以調(diào)節(jié)探針相對(duì)于安裝臺(tái)的位置，讓探針與樣品的測(cè)試點(diǎn)分離或接觸，或者在樣品參數(shù)測(cè)試時(shí)，通過(guò)驅(qū)動(dòng)組件帶動(dòng)支撐件作上下移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)支撐件上的探針與安裝臺(tái)兩者相對(duì)位置的調(diào)節(jié)，以使探針與樣品的測(cè)試點(diǎn)快速分離或接觸，該操作過(guò)程方便，效率高。
更新時(shí)間：2021-05-14
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